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集成電路無(wú)塵車間是為了滿足半導(dǎo)體制造工藝需求的潔凈室，對(duì)環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動(dòng)、ESD、AMC控制等要求，相對(duì)其他工業(yè)潔凈車間而言更加嚴(yán)格。IC產(chǎn)業(yè)無(wú)塵車間有面積大、潔凈等級(jí)高、溫濕度控制精度高等特點(diǎn)，因而可以選擇將前后區(qū)分開(kāi)，前區(qū)為人員操作區(qū)(硅片暴露區(qū))，后區(qū)為工藝設(shè)備接管區(qū)。這樣潔凈度要求高的區(qū)域的面積也會(huì)減少，可以減少整個(gè)系統(tǒng)的循環(huán)風(fēng)量，降低能耗及工程造價(jià)。

專注于潔凈工程領(lǐng)域十余年的EPC集成服務(wù)商CEIDI西遞，服務(wù)眾多知名潔凈工程，其設(shè)計(jì)師擅于在滿足工藝生產(chǎn)要求的前提下，綜合考慮可靠性、靈活性、安全性、能源效率、初投資等因素進(jìn)行設(shè)計(jì)。CEIDI西遞在江浙滬地區(qū)項(xiàng)目多，施工經(jīng)驗(yàn)豐富，有需要的企業(yè)可以登錄海西遞實(shí)業(yè)有限公司官網(wǎng)了解更多信息。這些百度都能找到。