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集成電路無塵車間是為了滿足半導體制造工藝需求的潔凈室，對環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動、ESD、AMC控制等要求，相對其他工業(yè)潔凈車間而言更加嚴格。IC產(chǎn)業(yè)無塵車間有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點，因而可以選擇將前后區(qū)分開，前區(qū)為人員操作區(qū)(硅片暴露區(qū))，后區(qū)為工藝設備接管區(qū)。這樣潔凈度要求高的區(qū)域的面積也會減少，可以減少整個系統(tǒng)的循環(huán)風量，降低能耗及工程造價。

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