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無塵車間的安全要求
發(fā)布時間：2025-05-12 07:09:12
一、無塵室安全要求
1. 進入無塵室前，必須通知管理人員，并通過基本訓練。
2. 嚴禁在無塵室內吸煙、進食、攜帶外來雜物，并禁止嬉鬧奔跑及聚集交談。
3. 進入無塵室前，需在指定地點脫鞋，將鞋放入鞋柜，外衣放入衣柜，私人物品放入私人柜內，柜內不可放置食物。
4. 進入無塵室前，需在更衣室按規(guī)定程序穿戴口罩、無塵帽、無塵衣及鞋套，再經(jīng)空氣洗塵室洗塵，并踩踏除塵地毯后方可進入。
5. 戴口罩時，應將口罩戴在鼻子之上，以覆蓋口鼻孔，避免呼吸時污染芯片。
6. 穿無塵衣前應先整理服裝及頭發(fā)，以免著裝后不適。
7. 戴無塵帽時，頭發(fā)必須完全覆蓋在帽內，無塵帽下擺應平散于兩肩之上，避免裸露肩頸部。
8. 穿無塵衣時，應注意帽下擺保持平整狀態(tài)，不可反穿。
9. 穿無塵衣后，再著鞋套，拉上鞋套，確保覆蓋褲管。
10. 戴手套時，避免以光手觸碰手套手掌及指尖處，以防止污染。
11. 穿戴無塵衣后，經(jīng)洗塵并踩踏除塵毯，方可進入無塵室。
12. 無論進入或離開無塵室，須在更衣室脫無塵衣，不可在其他區(qū)域進行，尤其不可在無塵室內邊走邊脫。
13. 無塵衣、鞋套等應定期清洗，有破損、脫線時，應立即更換。
14. 脫下無塵衣的順序與穿戴時相反。
15. 脫下的無塵衣應掛好，置于更衣室內上層柜子中；鞋套應置于無塵衣下方。
16. 更衣室內小柜除規(guī)定物品外，不得放置其他物品。
17. 除規(guī)定紙張及物品外，其他物品不得攜入無塵室。
18. 無塵衣等不得攜出無塵室，用畢放置于規(guī)定處所。
19. 口罩與手套可視情況自行保管或重復使用。
20. 任何物品進入無塵室前，必須用酒精擦拭干凈。
21. 任何設備進入無塵室，請通知管理人員，并在無塵室外擦拭干凈后方可進入。
22. 未通過考核之儀器，禁止使用，緊急情況下可依緊急處理步驟適當處理，如關閉水、電、氣體等開關。
23. 無塵室內嚴禁動火，以防意外發(fā)生。
二、無塵室操作須知
1. 處理芯片時，必須戴上無纖維手套，使用清洗過的干凈鑷子挾持芯片，避免手指或其他物品接觸芯片，污染過的芯片須經(jīng)清洗后方可繼續(xù)使用。
2. 芯片必須放置于盒中，蓋好存放于規(guī)定位置，盡可能避免暴露。
3. 避免在芯片上談話，防止唾液濺于芯片上，特別注意防止上述動作產(chǎn)生。
4. 從載具上取出芯片時，必須垂直向上挾起，避免刮傷芯片。
5. 芯片上若有氧化層，在送黃光室前切勿用鉆石刀在芯片上刻記。
6. 操作時，手絕不能放進清洗水槽。
7. 使用化學站或烤箱處理芯片時，務必將芯片置放于鐵弗龍晶舟內，不可使用塑料盒。
8. 擺置芯片于石英舟時，若芯片掉落地上或手中，必須重新清洗芯片，然后再進氧化爐。
9. 請勿觸摸芯片盒內部，若被碰觸或有碎芯片污染，必須重作清洗。
10. 手套、廢紙及其他雜碎東西，請勿留置于操作臺，若手套燒焦、磨破或纖維質變多，必須更換。
11. 未經(jīng)指示，不可開啟不熟悉的儀器及各種開關閥控制鈕或把手。
12. 發(fā)現(xiàn)奇怪的味道或反應異常的溶液、顏色、聲響等，請立即通知相關人員。
13. 儀器因操作錯誤而有任何損壞時，務必立刻告知負責人員或老師。
14. 芯片盒進出無塵室須保持干凈，并以保鮮膜封裝，違者不得進入。
15. 無塵室內一律使用原子筆及無塵筆記本做記錄，一般紙張與鉛筆不得攜入。
三、黃光區(qū)操作須知
1. 濕度及溫度會影響對準工作，在黃光區(qū)應注意溫度及濕度，并減少對準機附近的人，以減少濕、溫度的變化。
2. 上妥光阻尚未曝光完成之芯片，不得攜出黃光區(qū)以免感光。
3. 已上妥光阻，等待對準曝光之芯片，應放置于不透明之藍黑色晶盒內，盒蓋必須蓋妥。
4. 光罩使用時應持取邊緣，不得觸及光罩面，光罩鉻膜不得與他物接觸，以防刮傷。
5. 曝光時，避免用眼睛直視曝光機汞燈。
四、鑷子使用須知
1. 進入實驗室后，應先戴上手套后，再取鑷子，以免沾污。
2. 唯有使用干凈的鑷子，才可持取芯片，鑷子一旦掉在地上或被手觸碰，或因其他原因而遭污染，必須拿去清洗，方可再使用。
3. 鑷子使用后，應放于各站規(guī)定處，不可任意放置，如有特殊制程用鑷子，使用后應自行保管，不可和實驗室內各站之鑷子混合使用。
4. 持鑷子應采"握筆式"姿勢挾取芯片。
5. 挾取芯片時，順序應由后向前挾取，放回芯片時，則由前向后放回，以免刮傷芯片表面。
6. 挾取芯片時，"短邊"（鋸狀頭）置于芯片正面，"長邊"（平頭）置于芯片背面，挾芯片空白部分，不可傷及芯片。
7. 嚴禁將鑷子接觸酸槽或D.I Water水槽中。
8. 鑷子僅可做為挾取芯片用，不準做其他用途。
五、化學藥品使用須知
1. 化學藥品的進出須登記，并知會管理人員，并附上物質安全資料表（MSDS）于實驗室門口。
2. 使用化學藥品前，請詳讀物質安全資料表（MSDS），并告知管理人員。
3. 換酸前必先穿著防酸塑料裙，戴上防酸長袖手套，頭戴護鏡，腳著塑料防酸鞋，始可進行換酸工作。
4. 不得任意打開酸瓶的蓋子，使用后立即鎖緊蓋子。
5. 稀釋酸液時，千萬記得加酸于水，絕不可加水于酸。
6. 勿嘗任何化學藥品或以嗅覺來確定容器內之藥品。
7. 不明容器內為何種藥品時，切勿搖動或倒置該容器。
8. 所有化學藥品之作業(yè)均須在通風良好或排氣之處進行。
9. 操作各項酸液時須詳讀各操作規(guī)范。
10. 酸類可與堿類共同存于有抽風設備的儲柜，但絕不可與有機溶劑存放在一起。
11. 廢酸請放入廢酸桶，不可任意傾倒，更不可與有機溶液混合。
12. 廢棄有機溶液置放入有機廢液桶內，不可任意傾倒或倒入廢酸桶內。
13. 勿任意更換容器內溶液。
14. 欲自行攜入之溶液請事先告知經(jīng)許可后方可攜入，若溶液具有危險性時，必須經(jīng)評估后方可攜入，并請于容器上清楚標明容器內容物及保存期限。
15. 廢液處理：廢液分酸、堿、氫氟酸、有機等，分開處理并登記，回收桶標示清楚，廢液桶內含氫氟酸等酸堿，絕對不可用手觸碰。
16. 漏水或漏酸處理：漏水或漏酸時，為確保安全，絕對不可用手觸碰，先將電源總開關與相關閥門關閉，再以無塵布或酸堿吸附器處理之，并報備管理人員。
六、化學工作站操作
1. 操作時須依規(guī)定，戴上橡皮手套及口罩。
2. 不可將塑料盒放入酸槽或清洗槽中。
3. 添加任何溶液前，務必事先確認容器內溶劑方可添加。
4. 在化學工作站工作時應養(yǎng)成良好工作姿勢，上身應避免前傾至化學槽及清洗槽之上方，一方面可防止危險發(fā)生，另一方面亦減少污染機會。
5. 化學站不操作時，有蓋者應隨時將蓋蓋妥，清洗水槽之水開關關上。
6. 化學藥品濺到衣服
